一种纳米压入仪压头位移和载荷的测量装置

摘要

本发明涉及一种纳米压入仪压头位移和载荷的测量装置，属于计量技术领域。其特征是由弹簧支撑的压块在外力作用下可上下移动，移动的距离由激光干涉仪测量。压块的位移与所受的力之间的关系可通过测量压块在标准砝码的重力作用下产生的位移来确定。在用于纳米压入仪压头位移和载荷测量时，压头在压块上施加载荷，其位移由激光干涉仪测量，根据该装置的加载力与位移之间的关系，可以确定载荷的大小。本装置硬件由压块、弹簧、基座、稳频激光器、分光镜、参考角锥棱镜、测量角锥棱镜、偏振片、光电探测器和测量系统组成。本发明的装置可以在一次测量过程中同时完成压头位移和载荷的测量，在材料纳米力学测试及仪器校准方面有重要的应用价值。