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一种绒面复合结构ZnO-TCO薄膜的制备方法及应用

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一种绒面复合结构ZnO-TCO薄膜的制备方法及应用，所述绒面结构ZnO-TCO薄膜的结构特征为微米级绒面玻璃/MOCVD-ZnO:B纳米薄膜，制备步骤是：1)先用去离子水和稀盐酸(HCl)溶液对玻璃表面进行清洗，然后采用蒙砂粉进行蒙砂刻蚀；抛光次数为1-12次，形成微米级尺寸绒面玻璃，特征尺寸～5至25μm；2)以二乙基锌(DEZn)和水(H

著录项

公开/公告号CN105349966A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-02-24

原文格式PDF
申请/专利权人南开大学;
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申请/专利号CN201510670221.4
发明设计人陈新亮;张晓丹;刘杰铭;赵颖;
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申请日2015-10-15
分类号C23C16/40;C23C16/02;H01L31/0224;
代理机构天津佳盟知识产权代理有限公司;
代理人侯力
地址 300071 天津市南开区卫津路94号
入库时间 2023-12-18 14:26:07

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-06-05

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/40 申请公布日:20160224 申请日:20151015

发明专利申请公布后的视为撤回
2016-03-23

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/40 申请日:20151015

实质审查的生效
2016-02-24

公开

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