法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-24
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N15/06 申请公布日:20160224 申请日:20151120
发明专利申请公布后的驳回
2016-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N15/06 申请日:20151120
实质审查的生效
2016-02-24
公开
公开
机译: 电导法和激光散射法测量粉尘
机译: 由于采用单粒子光散射法,喷射出微粒
机译: 用于掩模版的石英掩模裂纹监测系统,采用声学和/或激光散射法