公开/公告号CN105333856A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-02-17
原文格式PDF
申请/专利权人 广州浪淘砂建材有限公司;
申请/专利号CN201410392555.5
发明设计人 蒋金明;
申请日2014-08-11
分类号G01B21/30;
代理机构
代理人
地址 511453 广东省广州市南沙区东涌镇小乌西街1号
入库时间 2023-12-18 14:06:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-15
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B21/30 申请公布日:20160217 申请日:20140811
发明专利申请公布后的驳回
2018-05-18
著录事项变更 IPC(主分类):G01B21/30 变更前: 变更后: 申请日:20140811
著录事项变更
2016-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B21/30 申请日:20140811
实质审查的生效
2016-02-17
公开
公开
机译: 界面处的粗糙度降低膜,用于在界面处形成粗糙度降低膜的材料,布线层和使用该材料的半导体器件以及用于制造半导体器件的方法
机译: 界面粗糙度降低膜,界面粗糙度降低膜形成材料,布线层和使用该材料的半导体器件以及用于制造半导体器件的方法
机译: 界面上的粗糙度减小膜,用于形成界面上的粗糙度减小膜的材料,使用该结构的布线层和半导体器件以及制造半导体器件的方法