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物理量传感器装置、高度计、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供一种能够实施优良的温度补偿的物理量传感器装置、高度计、电子设备以及移动体。压力传感器装置(1)具有:压力传感器(1),其具备隔膜(54),所述隔膜(54)具有受压面(541),且能够挠曲变形;温度传感器(411),其以与隔膜(54)隔开间隔的方式而被配置于隔膜(54)的受压面(541)侧。此外,压力传感器(1)在隔膜(54)的与受压面(541)相反的面侧具有作为压力基准室的空洞部。

著录项

  • 公开/公告号CN105300411A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-02-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 精工爱普生株式会社;

    申请/专利号CN201510335211.5

  • 发明设计人 中岛敏;

    申请日2015-06-16

  • 分类号

  • 代理机构北京金信知识产权代理有限公司;

  • 代理人苏萌萌

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2023-12-18 14:06:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-02-02

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01D3/028 申请公布日:20160203 申请日:20150616

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2016-02-03

    公开

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