公开/公告号CN105300411A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-02-03
原文格式PDF
申请/专利权人 精工爱普生株式会社;
申请/专利号CN201510335211.5
发明设计人 中岛敏;
申请日2015-06-16
分类号
代理机构北京金信知识产权代理有限公司;
代理人苏萌萌
地址 日本东京
入库时间 2023-12-18 14:06:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-02-02
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01D3/028 申请公布日:20160203 申请日:20150616
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-02-03
公开
公开
机译: 物理量传感器芯片,高度计,电子设备,可动体以及物理量传感器芯片的制造方法
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