用于压电层布置的制造方法和相应的压电层布置

摘要

本发明创造一种用于压电层布置的制造方法和相应的压电层布置。所述制造方法包括以下步骤：在衬底(1)上沉积第一电极层(2)，在所述第一电极层(2)上沉积第一绝缘层(3)，在所述第一绝缘层(3)中构造贯通开口(10)以便在所述贯通开口(10)内暴露所述第一电极层(2)，在所述第一绝缘层(3)上并且在所述贯通开口(10)内的第一电极层(2)上沉积压电层(4)，背侧打磨所得到的结构以构造平的表面(OF)，在所述表面上暴露由所述第一绝缘层(3)包围的压电层区域(4a)，以及在所述第一绝缘层(3)上沉积并且结构化第二电极层(5)，所述第二电极层接通所述压电层区域(1)。