温度测定方法、温度测定装置、温度控制方法、温度控制装置、修正方法及修正装置

摘要

本发明提供一种温度测定方法，即使在片状体的温度分布不同的情况下，也能够正确地测定片状体的温度。该温度测定方法在由物理量测定机构测定片状体a的物理量时测定物理量的测定区域S或其附近的温度。在与温度传感器(11)接近且相对于温度传感器(11)以规定方向相对输送的片状体的单面侧或两面侧，由以围绕温度传感器(11)的方式而向片状体a喷射的气流帘来形成基本上闭塞的气氛的测定空间T，在该测定空间内设置测定区域S，并在测定空间内利用温度传感器(11)来进行测定区域S或其附近的温度测定。