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蓝宝石带以及用于生产具有改进的尺寸稳定性的多个蓝宝石带的设备和方法

摘要

本公开涉及用于通过边缘限定薄膜供料生长方法(EFG)形成蓝宝石带的设备和方法。此外,本公开涉及具有比如为低尺寸差异度和消除在一批次中同时生长的蓝宝石带之间的空隙的特征的多个同时培植的蓝宝石带。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-03-13

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B29/20 申请公布日:20151223 申请日:20140314

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2016-01-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/20 申请日:20140314

    实质审查的生效

  • 2015-12-23

    公开

    公开

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