一种缩短扩散工艺时间增加扩散产能的方法

摘要

本发明公开了一种缩短扩散工艺时间增加产能的方法，属于光伏技术领域。将扩散后氧化步、推进步和冷却步的时间适当降低，适当增加扩散温度，这样缩短了扩散工艺时间，增加了扩散产能，降低了扩散成本，同时光电转换效率也没有下降。