法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-26
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01B13/00 申请公布日:20151125 申请日:20150710
发明专利申请公布后的驳回
2015-12-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01B13/00 申请日:20150710
实质审查的生效
2015-11-25
公开
公开
机译: 厚度在0.4mm以下
机译: 在处理线径尺寸为50 NM或以下的图案化材料时,使用含硅氧烷型添加剂的组合物来避免图案塌落
机译: 当处理线径尺寸为50 NM或以下的图案化材料时,由氨活化的硅氧烷组成的组合物可避免图案塌落