一种单幅载波干涉条纹检测面形相位恢复方法

摘要

一种单幅载波干涉条纹检测面形相位恢复方法，属于光学测量技术领域，为了解决单幅载波干涉条纹面形反演测量中空间相位场的计算恢复问题，该方法为：获取包含载波信息和面形信息的空间相位场数据；计算单位圆ρ(θ,r)上各采样点的前n阶Noll？Index的泽尼克模向量，阶数n可根据情况选取，单位圆上的采样点ρ(θ,r)与矩阵M(x,y)上的数据点是一一对应的，ρ(θ,r)可以通过对M(x,y)由笛卡尔空间坐标向极坐标变换得到，用矩阵A(m,1)表示单位圆上的m个计算点数据，泽尼克模向量可用矩阵表示为Z(m,n)；对单位圆上的数据点值进行泽尼克多项式拟合；计算修正的前n阶Noll？Index的泽尼克模向量系数d(n,1)；恢复空间相位场空间相位场的值用矩阵Z(m,n)乘以d(n,1)得到，即