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一种具有高度(110)择优取向的钌酸锶薄膜的制备方法

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摘要

本发明涉及一种具有高度(110)择优取向的钌酸锶薄膜的制备方法，以表面有一层SiO

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-06-01

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20151125 申请日:20150825

发明专利申请公布后的视为撤回
2015-12-23

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20150825

实质审查的生效
2015-11-25

公开

公开

1. 一种具有高度(110)择优取向的钌酸锶薄膜的制备方法 [P] . 中国专利： CN105088160A . 2015-11-25
2. 低温下制备具有高度(001)择优取向的钌酸锶薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN104419895A . 2015-03-18
3. Methods of Forming Strontium Ruthenate Thin Films and Methods of Manufacturing Capacitors Including the Same [P] . 美国专利： US2010209595A1 . 2010-08-19

机译：钌酸锶薄膜的形成方法及包括该薄膜的电容器的制造方法
4. METHOD FOR FORMING A STRONTIUM RUTHENIUM OXIDE THIN FILM WHICH HAS A SUPERIOR MATERIAL PROPERTY BY SIMULTANEOUSLY USING A STRONTIUM SOURCE WITH H2O AND LIGAND, AND A CAPACITOR MANUFACTURING METHOD THEREOF [P] . 韩国专利： KR20100094766A . 2010-08-27

机译：通过同时使用含H2O和配体的锶源形成具有优异材料性能的氧化锶钌薄膜的方法及其电容器制造方法
5. Piezoelectric element using a barium-containing strontium ruthenate electrodes, ink jet recording head using a piezoelectric element and a conductor manufacturing method thereof and a thin film capacitor [P] . 日本专利： JP3847689B2 . 2006-11-22

机译：使用含有钡的钌酸锶电极的压电元件，使用压电元件的喷墨记录头及其导体的制造方法以及薄膜电容器