一种用于甲醛快速检测的新型钯多孔硅传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种用于甲醛快速检测的新型钯多孔硅传感器、该传感器的制备方法及其气敏检测系统，所述传感器包括：p型单晶硅基片衬底，硅基片衬底抛光面设有多孔硅层，多孔硅层表面掺杂纳米钯，多孔硅层表面设置有正负铝电极。本发明克服了传统多孔硅制备因表面电流分布不均导致的多孔硅表面不平整、孔洞分布不均匀的不利影响，采用铁钝化水热腐蚀法制备的表面平整、具硅柱状排列且掺杂纳米钯的多孔硅复合元件作为气敏材料，可在室温下工作，对甲醛具有高选择性，快速响应、恢复特性，可实现现场即时检测；该传感器体积小巧、结构简单，操作方便，价格低廉，有望未来在甲醛传感器领域得到进一步推广和应用。