法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-21
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/02 申请公布日:20151111 申请日:20150602
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-12-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20150602
实质审查的生效
2015-11-11
公开
公开
机译: 固溶体中的位错检测用蚀刻剂汞单晶-碲镉
机译: 具有GaN层的Si器件衬底上的GaN包括10nm以下的SiNx中间层,可促进晶体生长并减少螺纹位错
机译: 通过硅工艺在硅衬底后表面上腐蚀硅的腐蚀液以及使用腐蚀液通过硅来制造通过硅芯片的半导体芯片的方法