法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-04
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):F16F13/26 申请公布日:20151104 申请日:20150630
发明专利申请公布后的驳回
2015-12-02
实质审查的生效 IPC(主分类):F16F13/26 申请日:20150630
实质审查的生效
2015-11-04
公开
公开
机译: 装置的实施例的这种改进具有空腔,该空腔形成在悬置元件上,该悬置元件搁置在衬底中的半接地绝缘垫上,并且该衬底上具有该空腔。
机译: 半主动防振装置,半主动阻尼器装置,半主动刚度机制装置,减小的投射曝光装置及其半主动阻尼方法
机译: 空气弹簧式主动除振装置