一种用于砂轮表面形貌的检测方法与系统

摘要

本发明公开了一种用于砂轮表面形貌的检测方法与系统，其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜；待测砂轮对应于色散透镜的出射侧设置，并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动，以及绕着此固定轴做旋转运动。本发明将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描，结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息，并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。