光学镜、X射线荧光分析装置以及X射线荧光分析方法

摘要

本发明涉及一种用于X射线荧光分析装置，包括X射线源(10)，用来利用X射束(19)辐照试样(15)；X射线探测器(17)，用于测量由所述试样(15)发出的X射线荧光辐射(16)；以及摄像机(25)，用于经由光学镜(20)产生试样(15)的被辐照的测量位置(29)的光学控制图像(26)，所述光学镜在所述X射线源(10)的射束路径中成角度地布置，所述光学镜包括载体(21)，在所述载体(21)上设置有镜层(28)。为了创建X射线荧光装置，由其真实控制记录待分析试样、尤其采用的表面点是可行的，本发明提供了光学镜(20)具有用于X射束(19)的通窗(23)，其由载体(21)中的开口(23)以及形成镜层(28)的膜(22)形成，所述膜在载体(21)的外表面上覆盖开口(23)。