一种应用于声表面波滤波器的引线键合方法

摘要

本发明提供了一种应用于声表面波滤波器的引线键合方法，所述方法的核心为过渡膜材料的选择和过渡膜材料的厚度，经过众多实验研究，得到使用钛金属，并且过渡钛膜厚度在15-25埃米的情况下，引线键合拉力提升效果与其它机械性能最优化的结论，本发明对提升功能膜与压电基板之间的附着力和可焊性有很大的提升，从而解决了高频声表面波器件制作工艺中内引线键合拉力的问题，可实现增强声表面波器件芯片内引线键合的牢固度的目标，减少产品内引线键合隐患，从而提高产品的合格率和可靠性。