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取向碳纳米管集合体生产用基材以及取向碳纳米管集合体的制造方法

摘要

本发明的取向碳纳米管集合体生产用基材是一种,为了在该表面生成取向碳纳米管集合体的取向碳纳米管集合体生产用基材,具备金属基板和,在该金属基板的表面以及背面上形成的防渗碳层。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-28

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/26 申请公布日:20151028 申请日:20100208

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2015-11-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/26 申请日:20100208

    实质审查的生效

  • 2015-10-28

    公开

    公开

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