锁模光子晶体半导体激光直接倍频产生短波长激光装置

摘要

一种锁模光子晶体半导体激光直接倍频产生短波长激光装置，包括：一锁模光子晶体半导体激光器和与之连接的一倍频晶体；其中，锁模光子晶体半导体激光器为叠层结构，包括：一N型衬底；一下电极，其制作在N型衬底的下表面；一N型限制层，其制作在N型衬底的上表面；一光子晶体，其制作在N型限制层上；一有源层，其制作在光子晶体上；一P型限制层，其制作在有源层上，该P型限制层的中间有一条状凸起为脊型结构；一P型盖层，其制作在P型限制层的脊型结构上，在该脊型结构上的P型盖层中间开有一绝缘槽；一电绝缘层，其制作在脊型结构两侧的该P型限制层上以及绝缘槽内的P型限制层上；以及一上电极，其制作在P型盖层上。