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高效响应二氧化钛纳米管阵列紫外光电探测器及制备方法

摘要

本发明公开的高效响应二氧化钛纳米管阵列紫外光电探测器及其制备方法,包括以下步骤:(1)、TiO2纳米管的制备;(2)、TiO2纳米管的剥离;(3)、TiO2纳米管的转移;(4)、光电探测器构建。本发明能够实现在弱紫外光辐照条件下达到高响应度,高光暗电流比及高灵敏度的光电探测器的研发,且易于实现制备大面积的紫外光电探测器。

著录项

  • 公开/公告号CN104934496A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-09-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 宁波工程学院;

    申请/专利号CN201510213751.6

  • 申请日2015-04-29

  • 分类号H01L31/09(20060101);H01L31/18(20060101);B82Y20/00(20110101);

  • 代理机构33243 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人张向飞

  • 地址 315000 浙江省宁波市海曙区翠柏路89号

  • 入库时间 2023-12-18 11:04:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-10-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/09 申请日:20150429

    实质审查的生效

  • 2015-09-23

    公开

    公开

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