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测量极化设备上的表面电势的方法

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本发明涉及一种测量极化样品(2)表面电势的方法，其包括如下步骤：使用连接微杆(4)的锥形尖端(3)扫描样品(2)的表面对所述样品(2)的形貌轮廓(11)进行测量，所述微杆(4)在其共振频率由压电激活器(5)激活；将所述锥形尖端(3)放置在距离之前步骤中获得的表面形貌轮廓(11)的恒定距离(d)；测量所述表面的静电势(13)；所述方法的特征在于，所述样品(2)在测量形貌轮廓(11)的步骤中不被极化，但所述样品(2)在测量电势分布(13)的过程中被极化。

著录项

公开/公告号CN104903731A

专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-09

原文格式PDF
申请/专利权人兰斯大学;
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申请/专利号CN201380048589.6
发明设计人路易·吉罗德;尼古拉·波格丹·贝库;奥利佛·西摩内提;让-路易·尼古拉斯;米歇尔·莫里那利;
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申请日2013-09-18
分类号
代理机构北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人冷文燕
地址法国兰斯
入库时间 2023-12-18 10:50:22

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-06-06

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01Q60/30 申请公布日:20150909 申请日:20130918

发明专利申请公布后的视为撤回
2015-10-07

实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/30 申请日:20130918

实质审查的生效
2015-09-09

公开

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