无正交误差的双路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪

摘要

无正交误差的双路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过一个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光通过两个绕光束空间旋转角度成特定关系的渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明采用较少的光学元件实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。