一种改进型压差法在硅微通道内壁上液流沉积薄膜的方法和装置

摘要

本发明公开了一种改进型压差法在硅微通道内壁上液流沉积薄膜的方法和装置，它包括容器；所述的容器由隔板将腔体分隔成两个腔体：第一腔体和第二腔体；第一腔体和第二腔体之间的隔板上设置有连通两个腔体的卡槽；所述的卡槽上放置有硅微通道；在第一腔体和第二腔体之间设置有循环泵，其中，循环泵的进水口设置于第二腔体的底部，出水口设置于第一腔体的上方；所述的第一腔体内注有进行液流沉积的镀液。本发明的有益效果在于：明显的改善了用传统沉积方法与传统的压差沉积法进行薄膜沉积时，硅微通道内壁上出现的薄膜沉积不均匀的现象，用此改进型压差液流沉积法进行薄膜沉积的硅微通道作为锂离子电池的电极，可提高锂离子电池的整体性能。