一种调制光与非调制光相结合的表面光电压测量方法

摘要

一种调制光与非调制光相结合的表面光电压测量方法，属于半导体光电压测量的技术领域。是将待测样品置于ITO导电玻璃底电极上，用10～40μm厚的云母片覆盖待测样品，再在云母片上覆盖上电极；打开光源，使调制光与非调制光同时照射到待测样品上，待测样品底电极和上电极间产生的光电压信号经锁相放大器放大后，输入计算机，由计算机记录待测样品的光电压信号强度值，进而实现对待测样品表面光电压的测量。利用本发明检测结果，可以直接讨论半导体表面态对光生电荷的捕获作用，体相光生电荷的动力学迁移过程，以及全固态Z型半导体复合体系的光生电荷迁移行为。