一种蜘蛛网形表面结构的可控温加热盘

摘要

一种蜘蛛网形表面结构的可控温加热盘，包括制有中心进气孔的加热盘。所述加热盘表面设计有蜘蛛网形的沟槽结构及边缘制有气体回收孔。所述蜘蛛网形的沟槽结构是由沿加热盘圆心所设的N条气体流动环形沟槽与N条气体流动径向沟槽构成。上述环形沟槽与气体流动径向沟槽相接并相通。本发明通过进气通道在加热盘表面与晶圆间形成一定的气隙，并在其中通入热传导效果较好的导热气体作为传热介质，经加热盘的温度快速的传到晶圆，或是将晶圆的温度迅速的传至加热盘上导出。通过合理的盘面结构设计，使得导热介质能够快速均匀的在空隙中流动，及时实现加热盘及晶圆的热交换。