用电子束辐照物体的装置和方法

摘要

本发明涉及一种辐照装置(36)，其用电子束(16)辐照物体(12)。所述辐照装置(36)包括：具有电子出射窗(20)的至少一个电子束发射器(10)，以及用于检测所述电子束(16)的第一剂量控制参数的至少一个传感器装置(56)。所述电子束发射器(10)适于移动通过所述传感器装置(56)，使得从所述电子出射窗(20)射出的所述电子束(16)在所述传感器装置(56)的感测区域(58)内穿过。所述传感器装置包括多于一个的导体(64)，每一个导体(64)具有在传感器装置(56)的感测区域(58)内的导体表面(68)，并且该导体表面(68)适于被暴露于所述电子束(16)的电子。本发明还涉及一种方法。