首页> 中国专利> 一种闭合循环的重频光泵浦氟化氙激光系统

一种闭合循环的重频光泵浦氟化氙激光系统

摘要

本发明公开了一种闭合循环的重频光泵浦氟化氙激光系统,包括放电泵浦源、谐振反射镜、输出腔镜、激光器腔室和供气装置;激光器腔室为方形空腔,其长宽高三个方向分别对应光轴方向、解离方向和气流方向;所述的供气装置为至少一只连接在激光器腔室高度方向两个端面的闭合循环管道,在闭合循环管道中部设置有轴流风机,可将预先充满闭合循环管道的XeF

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-08-10

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01S3/223 申请公布日:20150715 申请日:20150210

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2015-08-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/223 申请日:20150210

    实质审查的生效

  • 2015-07-15

    公开

    公开

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