一种Ag-稀土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种Ag－稀土金属氧化物纳米线透明导电薄膜的制备方法，包括步骤：将清洗干净的玻璃衬底放入制膜设备反应室中；将金属银粉末和稀土金属氧化物粉末分别放置在两个瓷舟中，再将两个瓷舟放入制膜设备反应室的恒温中心位置，玻璃衬底置于两个瓷舟上方并与两个瓷舟紧贴；对反应室抽真空处理；对反应室加热到500～1100℃后，向反应室通入氩气，并对银源和稀土金属氧化物源蒸发处理；待上述步骤完成后，制得所述Ag－稀土金属氧化物纳米线透明导电薄膜。本发明采用热蒸发设备，制备Ag－稀土金属氧化物纳米线透明导电薄膜，得到薄膜的方块电阻低至15Ω/□，可见光透过率达90%，表面功函数达2.7eV。