一种用于混合型光电探测器的电子光学系统

摘要

本发明是一种用于混合型光电探测器的电子光学系统，采用三电极聚焦结构，即上电极、上聚焦电极、下聚焦电极，结构还包括：光电阴极、聚焦筒、A陶瓷环、B陶瓷环；其中光电阴极制作在石英玻璃即上电极上，光电阴极与聚焦筒互相导通，聚焦筒与光电阴极电位相同；聚焦筒和上聚焦电极之间以及所述的上聚焦电极与下聚焦电极之间通过A陶瓷环及B陶瓷环控制距离并实现绝缘。优点：该电子光学系统聚焦效果明显，缩小倍率可达7倍以上，可有效将光电阴极上产生的光电子聚焦到尺寸较小的半导体阳极探测器上来，适合混合型光电器件工作特点，并且加工简单、装配方便、可靠性高。