法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-03
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B01D53/50 申请公布日:20150701 申请日:20131225
发明专利申请公布后的驳回
2015-07-29
实质审查的生效 IPC(主分类):B01D53/50 申请日:20131225
实质审查的生效
2015-07-01
公开
公开
机译: 选择性去除含硫菱锰矿半导体表面污染物相的电化学刻蚀过程
机译: 选择性去除含硫菱锰矿半导体表面污染物相的电化学刻蚀过程
机译: 选择性去除含硫菱锰矿半导体表面污染物相的电化学刻蚀过程