用于校正激光束的设备以及校正激光束的方法

摘要

本发明涉及一种用于校正激光束的设备和一种校正激光束的方法，且所述设备包含：激光光源，发射激光；输出端反射镜；以及至少一个校正透镜，布置在所述输出端反射镜之前。此外，所述设备包含：校正系统，收集关于穿过所述输出端反射镜的剩余激光束的线束轮廓数据；以及控制器，连接到所述校正系统且取决于从所述校正系统收集的所述线束轮廓数据的变形而控制所述校正透镜的移动。因为所述方法不需要为了校正激光线束而调谐所述校正系统，所以可缩短用于校正激光线束轮廓的时间。此外，因为可防止在激光线束到达目标的辐射位置中产生误差，所以可减少目标的缺陷且增大处理效率。