一种AlN陶瓷基热隔离结构四单元阵列气体传感器及其制作方法

摘要

一种AlN陶瓷基热隔离结构四单元阵列气体传感器及其制作方法，涉及一种气体传感器及其制造方法。解决了目前的硅基微热板集成阵列气体传感器在热稳定性差及硅基微热板集成阵列气体传感的成膜工艺复杂、高温下硅基存在热失配的问题。本发明包括矩形氮化铝陶瓷基片和四个独立传感器单元，每个独立传感器单元包括两个加热电极、两个信号电极、四个等腰梯形热隔离孔、矩形加热器和信号探测器；制作该四单元阵列气体传感器的方法为先将氮化铝陶瓷基片用丙酮溶液和酒精溶液进行清洗，烘干后在进行涂胶，光刻，再进行镀膜，放入丙酮溶液中溶解光刻胶，激光刻蚀，再放入稀盐酸溶液中清洗，最后进行退火处理，获得传感器。本发明适用于测量气体成分。