物理蒸镀处理方法和物理蒸镀处理装置

摘要

提供一种在可靠地抑制靶极的偏差消耗的同时进行PVD处理的方法和装置。PVD处理方法包含：通过在真空腔室（2）内的阳极（3）与阴极（4）之间产生放电而使阴极（4）蒸发，来进行PVD处理；当进行PVD处理时，使冷却介质在形成于阳极（3）和阴极（4）中的冷却对象电极的冷却流路中流通，对该冷却对象电极进行冷却，并且切换该冷却介质的流通方向以使其反转。