调度表生成装置、程序以及方法、基板处理装置以及方法

摘要

提供一种在搬运多张基板时的调度表生成中，能够生成时间效率高的调度表的技术。本发明的调度表生成装置，在通过处理部对多张基板进行处理并搬运时的调度表生成中，判断是否能够通过一并搬出流程使搬运比通过依次搬出流程早结束，然后根据判断结果选择性地采用一并搬出流程或依次搬出流程。其中，依次搬出流程是以能够开始进行搬运处理的时刻早的顺序将各基板搬运至规定的搬运目的地的流程，一并搬出流程时在后基板的搬运处理能够开始的时刻之前不搬运能够开始进行搬运处理的基板，而在变为在后基板的搬运处理能够开始的时刻时一并将多张基板搬运至搬运目的地的流程。