基于悬空石墨烯的高灵敏度超快光纤电流传感器及其制法

摘要

本发明公开了一种基于悬空石墨烯的高灵敏度超快光纤电流传感器及其制法。光纤电流传感器包括光纤、两个金属电极和石墨烯薄膜，光纤的一端面设有微孔，金属电极设置在光纤的侧面及端面上，金属电极在端面上位于微孔的两侧，石墨烯薄膜覆盖在微孔和金属电极的上方，在微孔区域形成悬空结构。先将光纤一端切平、腐蚀后产生一个微米量级的微孔，再借助石蜡融化之后产生的掩膜在光纤的侧面及端面上制备两个电极，随后将利用化学气相沉积方法制备的石墨烯薄膜转移到光纤端面上，同时覆盖住两个电极和端面上的微孔。本发明的光纤电流传感器的灵敏度为2.2×10