法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-06
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B11/24 申请公布日:20150520 申请日:20150108
发明专利申请公布后的驳回
2015-06-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/24 申请日:20150108
实质审查的生效
2015-05-20
公开
公开
机译: 使用公共路径干涉仪形成干涉图样的曝光设备和装置制造方法以及使用干涉图样来计算投影光学器件的光学特性的处理器
机译: 干涉图样的检查装置和方法以及干涉图样的检查方法
机译: 非接触式温度监测方法,利用干涉图样的评估,该干涉图样是通过反射样品中不同深度的部分光束而获得