一种电容式相对湿度传感器

摘要

本发明公开了一种电容式相对湿度传感器，由衬底、氧化层、电容电极组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上方，在电容电极上设有钝化层及电极引线，该电容电极其材质为适于标准CMOS加工工艺的电极。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增强敏感电容值，将衬底可靠接地消除了外界的干扰，提高湿度传感器的精度。淀积钝化层能够有效防止环境中的水汽（聚酰亚胺吸水后腐蚀铝电极），利用梳状并联多晶硅作为加热电路，使湿度传感器的脱附时间更短，提高了可靠性。利用聚酰亚胺作为感湿介质，灵敏度高，线性度、滞回特性好，长久可靠等优点。