一种降低成本提高转换效率的高方阻扩散工艺方法

摘要

本发明公开了一种降低成本提高转换效率的高方阻扩散工艺方法，包括超声波清洗，碱液清洗，酸液清洗，甩干机甩干，扩散炉扩散制结，刻蚀，二次清洗，镀减反射膜，丝网印刷，烧结以及成品，其改进在技术点在于：扩散炉中的温度控制在800~850℃之间，气体流量控制在800~1000sccm，经过测试，该范围的温度和流量是扩散炉内最佳的扩散温度和扩散流量，可提高方块电阻，从而提高光电的转换效率，生产的电池的质量也因此提高。