公开/公告号CN104568866A
专利类型发明专利
公开/公告日2015-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 速技能机械有限公司;
申请/专利号CN201410548809.8
申请日2014-10-16
分类号G01N21/64;
代理机构北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟
地址 日本富山县
入库时间 2023-12-18 08:30:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-27
授权
授权
2016-09-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/64 申请日:20141016
实质审查的生效
2015-04-29
公开
公开
机译: 残留物确认粘合材料,以及使用该方法洗涤后残留在洗涤物中的残留物的确认方法
机译: 用于残留物确认的粘附材料以及使用该材料确认清洁后残留在清洁对象上的残留物的方法
机译: 减少光致抗蚀剂残留物的组合物和一种使用减少钨的附着量并有效消除光致抗蚀剂残留物的洗涤方法