一种基于热光调制的光波束形成网络芯片及其制备方法

摘要

本发明一种基于热光调制的光波束形成网络芯片：由自下而上的硅衬底层、二氧化硅埋层、光波传导结构层和热光调制结构层依次叠加而成。所述光波传导结构层，包括入射耦合光栅块、入射端光波导体、第一光子晶体慢光波导、第一出射端光波导体、第一出射耦合光栅块、第二光子晶体慢光波导、第二出射端光波导体、第二出射耦合光栅块和热光调制结构层衬底块。所述光波传导结构层，包括回形热光电极、负电极块和正电极块。本发明所述的制备方法，包括：制备光子晶体慢光波导、光波导及耦合光栅的结构；制备铬材料的热光电极；制备顶层金薄膜三个步骤。有益的技术效果：本发明具有瞬时带宽大、体积小、重量轻、功耗低的优点。