一种制备NZO透明导电薄膜的方法

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种制备NZO透明导电薄膜的方法，通过采用碳酸氢钠代替传统的碳酸钠为掺杂剂，并在进行NZO透明导电薄膜制备中，通过形成多种不同钠/锌离子比的溶胶依次进行涂覆、旋转、退火处理，以形成功能梯度薄膜，很大程度上提高了具有功能梯度的NZO透明导电薄膜的透光性、导电性、稳定性。