倾斜式扫描中利用DMD三角区域进行拼接改善的方法

摘要

本发明公开了倾斜式扫描中利用DMD三角区域进行拼接改善的方法。在采用DMD方式进行扫描的直写式光刻机中，会因为多光头的设计带来条带间拼接的概念。因为环境、机械振动等各种原因，以往的硬拼接方式很不稳定，拼接质量差，会在拼接处形成图形错位、重叠、撕裂等现象。在倾斜式扫描中，可以利用DMD两侧的三角形区域，使扫描过程中的每条带边界处形成一个灰度的模式，来对场内、场间拼接进行改善。在两条带拼接处的灰度叠加可有效减弱拼接错位、重叠、撕裂等现象。同时每条带的实际扫描宽度也有所增加，在多光头扫描过程中，会增加设备的最大制板宽度。