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用于检测接触结构的不正确机械接触的接触布置和方法

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摘要

用于检测接触结构的不正确机械接触的接触布置和方法。提供了接触布置，其包括接触结构和感测结构。感测结构可被布置在接触结构附近。感测结构可被布置成使得接触结构的正确机械接触将不影响感测结构且接触结构的不正确机械接触将影响感测结构。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-11-21

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/66 申请公布日:20150325 申请日:20140919

发明专利申请公布后的视为撤回
2015-04-22

实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/02 申请日:20140919

实质审查的生效
2015-03-25

公开

公开

1. 用于检测接触结构的不正确机械接触的接触布置和方法 [P] . 中国专利： CN104459432A . 2015-03-25
2. 接触振动检测装置及具备该接触振动检测装置的旋转机械、以及接触振动检测方法 [P] . 中国专利： CN110546477A . 2019-12-06
3. CONTACT ARRANGEMENTS AND METHODS FOR DETECTING INCORRECT MECHANICAL CONTACTING OF CONTACT STRUCTURES [P] . 美国专利： US2015084659A1 . 2015-03-26

机译：用于确定接触结构不正确的机械接触的接触装置和方法
4. Contact arrays, and method for detecting a wrong type of mechanical contacting of contact structures [P] . 德国专利： DE102014113362A1 . 2015-03-26

机译：接触阵列以及用于检测接触结构的机械接触的错误类型的方法
5. Contact element producing method for use in projection illumination system, involves applying contact structure in retaining structure, where insulating areas of contact structure are arranged in free intermediate area of structure [P] . 德国专利： DE102008016360A1 . 2008-08-07

机译：用于投影照明系统的接触元件的制造方法，涉及在保持结构中施加接触结构，其中接触结构的绝缘区域布置在结构的自由中间区域中