法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-30
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C18/18 申请公布日:20150325 申请日:20141030
发明专利申请公布后的视为撤回
2015-04-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/18 申请日:20141030
实质审查的生效
2015-03-25
公开
公开
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