一种在硅衬底上制备大孔径薄壁阳极氧化铝模板的方法

摘要

一种在硅衬底上制备大孔径薄壁阳极氧化铝模板的方法，步骤如下：(1)清洗硅衬底；(2)在清洗后的硅衬底表面上沉积一层厚度为500-1000纳米的铝层；(3)对沉积在硅衬底上的铝层进行阳极氧化，其中，将阳极氧化槽置于冰水混和物中，通过搅拌控制阳极氧化过程中的温度在0-5℃，阳极氧化溶液为磷酸的乙二醇溶液，磷酸在乙二醇中的体积百分比为18％-24％，阳极氧化电压为210-250V，阳极氧化时间为1-5分钟；(4)将制得的阳极氧化铝模板用去离子水清洗干净，在室温下放入5wt％的磷酸水溶液中扩孔20-50分钟，并同时去除孔底部的氧化物阻挡层。由此在硅衬底上获得的大孔径薄壁阳极氧化铝模板，孔径大于100纳米，孔壁厚度小于孔半径。