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一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法

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本发明公开了一种制作声表面波传感器二氧化钛掺杂酞菁铜敏感膜的方法，该方法是由TiO

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公开/公告号CN102820867A

专利类型发明专利
公开/公告日2012-12-12

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院微电子研究所;
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申请/专利号CN201110155259.X
发明设计人李冬梅;汪幸;刘明;周文;侯成诚;闫学锋;谢常青;
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申请日2011-06-10
分类号H03H3/08;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-12-18 07:41:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-07-01

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H03H3/08 申请公布日:20121212 申请日:20110610

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-01-30

实质审查的生效 IPC(主分类):H03H3/08 申请日:20110610

实质审查的生效
2012-12-12

公开

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