公开/公告号CN102810515A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-12-05
原文格式PDF
申请/专利权人 尔必达存储器株式会社;东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201210158877.4
申请日2012-05-21
分类号H01L21/8242;
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人陈海涛
地址 日本东京
入库时间 2023-12-18 07:36:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-14
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/8242 申请公布日:20121205 申请日:20120521
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-12-05
公开
公开
机译: 具有金红石晶体结构的氧化钛膜的形成方法
机译: 具有金红石晶体结构的氧化钛膜的形成方法
机译: 具有金红石晶体结构的二氧化钛薄膜的形成方法