超分辨共聚焦光学显微镜与扫描探针显微镜联用系统

摘要

本发明公开了一种超分辨共聚焦光学显微镜与扫描探针显微镜联用系统。激光器a输出的激光经二向色性滤光片a滤光后汇聚至显微物镜，激光器b输出的激光依次经位相板和二向色性滤光片b滤光后入射至所述显微物镜；经所述显微物镜汇聚的激光照射至样品台，得到待测样品的荧光信号又经所述显微物镜汇聚后经收集透镜a收集后入射至光电探测器，所述光电探测器输出的光电信号输入至光学信号采集器；经收集透镜b收集后的激光入射至SPM探针的悬臂上，所述SPM探针设于所述样品台的上方；经所述SPM探针反射后的光经所述经收集透镜b收集后入射至SPM探测器，所述SPM探测器输出的电信号输入至SPM信号采集器。由超分辨的光学成像引导SPM成像和分析，由于超分辨的共聚焦光学显微镜分辨率可接近SPM的分辨率，可以实现更高精度的靶点定位。