法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B01L3/00 申请公布日:20121121 申请日:20110126
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-01-16
实质审查的生效 IPC(主分类):B01L3/00 申请日:20110126
实质审查的生效
2012-11-21
公开
公开
机译: 带有用于检查样品中的缺陷的设备的透射电子显微镜设备以及使用透射电子显微镜检查样品中的缺陷的方法
机译: 用于原子力显微镜的悬臂组件,包括该悬臂组件的基板表面检查设备,使用该悬臂组件分析半导体基板的表面的方法以及使用该悬臂组件形成微图案的方法
机译: 用于将液体浸入剂应用到显微镜目标和要在显微镜下检查的样品之间的间隙中的装置和方法